【極端紫外線(EUV)と次世代半導体】その1

10月1日に開設された「EUVリソグラフィー研究開発センター」のセンター長・木下博雄氏は、「兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所」の教授であり、1986年に「EUV露光」を開発したことでも有名です。

この開発センターを含む大学施設は、豊かな自然に囲まれたところにあり、次世代半導体の実用化に向けた産業の窓口的役割を目指しています。
企業が提案する技術の評価やアドバイスなどを行うことを目的とした、地域に根差した開発センターとしてスタートしました。

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